10月9日至11日，第四届先进光刻流体力学研讨会在合肥成功举办。会议由国家自然科学基金委员会“极端流动的多过程问题研究”基础科学中心、中国科学技术大学工程科学学院主办。来自上海交通大学、中国科学院力学研究所、南方科技大学、清华大学、上海大学、张江实验室、西安交通大学、中国科学技术大学等13家高校和科研机构的35位专家参加会议。中国科学技术大学丁航教授担任会议主席，高鹏教授主持开幕式。

丁航在开幕式致辞中对与会专家表示欢迎，并回顾了研讨会的发展历程，介绍了研讨会在汇聚国内先进光刻相关流体力学研究力量、从实际需求中凝练关键科学技术问题、推动研究成果服务企业技术攻关及谋划重要科研项目等方面发挥的重要作用。他希望与会专家充分利用专题报告与自由讨论相结合的会议安排，深入交流研究进展和工程需求，在思想碰撞中拓展研究思路、凝练合作方向。

会议围绕先进光刻中的流体力学问题开展专题研讨，报告主题涵盖极紫外光刻光源中的液滴生成、激光与液滴相互作用、碎屑输运与污染防护及非平衡辐射过程，浸没式深紫外光刻中的超薄液膜演化与液滴动力学，以及光刻装备中的稀薄气体流动与流固热耦合等。围绕上述问题，与会专家分享了原位多参数激光光谱测量等实验诊断方法，以及辐射两相流建模、数据同化反演、非平衡流动粒子算法、带相变的移动界面模拟等建模与计算方法的研究进展。上海交通大学刘应征教授、中国科学院力学研究所副所长王展研究员、上海大学周全教授、中国科学技术大学闫锐教授、南方科技大学邓巍巍教授分别主持专题报告，组织与会人员开展深入讨论。

高鹏在总结讲话中对与会专家及会务人员表示感谢。他指出，多个参会团队已深入参与国内光刻领域重点企业的科研项目，围绕实际需求着力解决关键科学技术问题，体现了研讨会在连接基础研究与工程应用中的积极作用。他希望以此次研讨会为契机，进一步加强高校、科研机构与光刻领域重点企业之间的交流合作，推动流体力学前沿研究与先进光刻技术需求紧密结合，为我国先进光刻技术发展提供有力支撑。

（工程科学学院）