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2023年05月10日
洪义麟荣获中国科学院第四届“科苑名匠”个人称号

5月10日,中国科学院工会在京举办中国科学院第四届“科苑名匠”发布活动,全院共16个团队和4名个人被授予中国科学院第四届“科苑名匠”称号。中国科学技术大学教授级高级工程师洪义麟荣获中国科学院第四届“科苑名匠”个人称号。

洪义麟出席参加本次发布活动,在现场接受表彰,并作为获奖个人代表分享了他的初心使命和科研之路。

洪义麟,中国科学技术大学国家同步辐射实验室教授级高级工程师,博士生导师,国家重大专项大光栅团队带头人。他长期致力于衍射光栅的研究工作,作为负责人承担了大口径光栅工艺设备的研发,2013年至今作为项目负责人,带领由中国科学技术大学、清华大学、苏州大学和上海光机所等多家单位组成的团队承担国家重大专项大光栅项目、中科院先导A专项大光栅项目和863专项大光栅项目的攻关,并承担其他各类课题20余项,先后荣获军队科学技术进步一等奖等国家和省部级成果奖5项。带领团队在20多年的时间内,先后研制成功大口径厚基片旋转涂胶机、大口径弯月面涂胶机、大型扫描式刻蚀机、等离子灰化机、大型兆声清洗机等多种国际上领先的大光栅研发必须的关键工艺设备,初步解决了制约我国强激光技术发展中的大口径、高损伤阈值光栅的关键元器件的自主可控。

光栅是一种具有高分辨率色散的光学元件,微观上是周期性微纳结构,常规光栅的表面分布着周期性的平行线条,每毫米几十至几千条,甚至上万条,线条宽度相当于仅有一根头发丝的百分之一。

上世纪末,我国开始布局激光聚变研究,需要使用大口径衍射光栅对激光脉冲进行压缩,实现拍瓦级的强激光输出。该类光栅的主要特点为“一大三高”,即有米量级大口径、高衍射效率、高精度衍射波前、高抗激光损伤阈值;制作难度极大,工艺复杂,国际上也只有美国和法国各一家公司可以研发,是制约强激光发展的重要“卡脖子”器件之一。

在部分大口径光栅工艺设备受到禁运且可加工口径远远无法满足大口径光栅研制需要的情况下,他带领团队研制成功大口径光栅研制的关键工艺设备,为大光栅的研制提供了基础保障。团队在2016年突破国际禁运,研制成功国际上最大的1500mm基片弯月面涂胶机,主要指标达到国际先进水平;2014-2021年历经上千次的试验和迭代,先后研制出200mm口径、400mm口径、1400mm口径的5种型号矩形厚基片旋转涂胶机,最大程度上满足了光栅高精度涂胶工艺的需求;2005-2016年,先后研制出200mm口径、500mm口径、1400mm口径的扫描式离子束刻蚀机,该设备被国际同行称赞为国际上最好同类设备,离子束刻蚀机不但保障了自身研发需要,还满足了国内多家重点研发单位的需求。

针对大口径衍射光栅的全息光刻胶掩模均匀性难以保证的情况,他还带领团队创造性地提出等离子掩模修正技术,实现了光刻胶掩模的大范围修正。同时研制了一批关键工艺在线监测系统,实现光栅工艺控制从凭“经验”到科学定量控制。

通过涂胶、刻蚀等工艺设备和监测技术的自主创新,团队逐步掌握1400mm口径光栅的全流程关键技术。研制的系列成果已用于多个国家大型科学装置中,助力我国高能激光系统跨入世界级水平。并连续入选了“十五”“十一五”“十二五”“十三五”国家科技创新成就展。2016年,研制出国际上最大的口径达1400mm×420mm的介质膜高阈值脉冲压缩光栅,主要性能指标达到国际先进水平,改变了我国大口径光栅长期依赖进口的局面。

2015年,我国某强激光升级改造重大项目进口的6块脉冲压缩光栅在即将交货时被国外禁运,项目面临难以验收和运行,带领课题组从接到紧急攻关需求到交付4块1025mm×350mm光栅仅用了一年时间,确保了项目验收和装置的长期运行,该装置分别实现了1035焦耳(8皮秒)和970焦耳(1.7皮秒)千焦耳级皮秒高能短脉冲输出,助力我国高能激光系统跨入世界级水平。此项光栅研制成果获得2017年军队科学技术进步一等奖,团队被树立为多单位合作攻关的典型。

中国科学院“科苑名匠”表彰评选旨在积极响应中华全国总工会“大国工匠”品牌建设,充分发挥先进模范人物的示范引领作用,大力弘扬劳模精神、劳动精神和工匠精神,进一步激发广大科技工作者建功立业的积极性、主动性和创造性。


(校工会)

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